생산에 사용되는 냉각수 온도는 코팅 라인의 실제 수온과 다르기 때문에 사용 중 대상 물질에 균열이 발생합니다. 일반적으로 약간의 균열은 코팅 생산에 큰 영향을 미치지 않습니다. 그러나 타겟에 뚜렷한 균열이 있으면 균열 가장자리에 전하가 쉽게 집중되어 타겟 표면에 비정상적인 방전이 발생합니다. 방전은 슬래그 낙하, 비정상적인 피막 형성 및 제품 노후화 증가로 이어질 것입니다.
타겟 크래킹에 영향을 미치는 요인
균열 형성은 일반적으로 세라믹 스퍼터링 타겟(예: 산화물, 탄화물, 질화물 등)과 취성 재료 스퍼터링 타겟(예: 크롬, 안티몬, 비스무트 등)에서 발생합니다.
세라믹 또는 취성 재료 타겟에는 항상 고유 응력이 포함되어 있습니다. 이러한 내부 응력은 타겟 재료를 제조하는 동안 생성됩니다. 또한, 이러한 응력은 재료의 고유한 특성으로 인해 어닐링 공정을 통해 완전히 제거할 수 없습니다. 스퍼터링 중에 충격을 받은 가스 이온은 운동량을 대상 원자로 전달하여 격자에서 분리될 수 있는 충분한 에너지를 제공합니다. 이러한 발열 운동량 전달은 표적의 온도를 증가시키며 원자 수준에서 섭씨 1000,000도에 도달할 수 있습니다. 이러한 열 충격은 대상에 이미 존재하는 내부 응력을 여러 배로 증가시킵니다. 이 경우 적절한 방열을 처리하지 않으면 타겟이 깨질 수 있습니다.
타겟 크래킹 방지 대책
타겟의 균열을 방지하기 위해 중요한 고려 사항은 방열입니다. 한편으로는 수냉식 메커니즘을 사용하여 목표물에 있는 원하지 않는 열 에너지를 제거하고, 다른 한편으로는 매우 짧은 시간에 전력을 증가시키면 목표물에 열 충격을 가져오게 됩니다. 또한, 이러한 타겟을 백플레인에 바인딩하는 것이 좋습니다. 이는 타겟에 대한 지원을 제공할 뿐만 아니라 타겟과 물 사이의 더 나은 열 교환을 촉진합니다. 대상에 금이 가고 백플레인이 이를 지원하는 경우에도 문제 없이 사용할 수 있습니다.